德國PI高精度線性平臺HPS-170

參考級線性平臺

交叉滾柱導軌帶來高運動精度和負載能力。精密滾珠絲杠。應力消除鋁基座可實現高穩定性。機械限位開關。

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學線性編碼器以*的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

小位移

結合SMC Hydra控制器，帶步進電機和集成線性編碼器的版本可在傳感器分辨率范圍內實現可重復的小位移。同樣的配置可實現幾傳感器增量每秒的恒定低速。

驅動器類型

·         電機軸上帶旋轉編碼器的閉環直流伺服電機

·         2相步進電機可實現高轉矩（即使低速時）和高分辨率

交叉滾柱導軌

對于交叉滾柱導軌，滾珠導軌中的滾珠的接觸點被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預載更小，這減少了摩擦并實現了更平滑的運行。交叉滾柱導軌還具有高導向精度和高負載能力的特征。力導向滾動體保持架防止保持架蠕變。

應用領域

樣本檢驗, 半導體技術, 計量, 激光打標, 真空

訂購信息

626291x00  帶直流電機和旋轉編碼器的線性平臺

626291x10  附帶線性編碼器

626292x00  帶步進電機的線性平臺

626292x10-0001 附帶線性編碼器

德國PI高精度線性平臺HPS-170